TY JOUR TI ВЛИЯНИЕ SO 4 2 - ИОНОВ НА МОРФОЛОГИЮ ТУННЕЛЕЙ ТРАВЛЕНИЯ АЛЮМИНИЕВОЙ ФОЛЬГИ KW электролитическое травление KW фольга KW туннели травления KW electrolytic etching KW foil tunnels etching JO ВЕСТНИК ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО УНИВЕРСИТЕТА AU Шавкунов, С.П. AU Панов, И.В. PY 2025 IS 15 PB Казанский национальный исследовательский технологический университет