TY JOUR TI ФОРМИРОВАНИЕ НАНОСТРУКТУРИРОВАННОГО КОМПОЗИЦИОННОГО ПОКРЫТИЯ В ПЛАЗМЕ ДУГОВОГО РАЗРЯДА KW нитриды KW структура нитридов с оксидом циркония KW наноразмерные кристаллы KW nitrides KW the structure of nitrides with of zirconium oxide KW nano-sized crystals JO ВЕСТНИК ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО УНИВЕРСИТЕТА AU Абдуллин, И.Ш. AU Миронов, М.М. AU Васильев, И.И. PY 2025 IS 15 PB Казанский национальный исследовательский технологический университет