@article{Абдуллин2025очистка, author={Абдуллин, И.Ш. and Васильев, И.И.}, title={ОЧИСТКА ПОВЕРХНОСТИ СТАЛИ 9ХФ В ПЛАЗМЕ ВЧ ЕМКОСТНОГО РАЗРЯДА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ НАНОСТРУКТУРИРОВАННОГО ПОКРЫТИЯ PVD МЕТОДОМ}, journal={ВЕСТНИК ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО УНИВЕРСИТЕТА}, publisher={Казанский национальный исследовательский технологический университет}, year={2025}, pages={29-30}, volume={15}, issue={20}, }