TY JOUR TI ОЧИСТКА ПОВЕРХНОСТИ СТАЛИ 9ХФ В ПЛАЗМЕ ВЧ ЕМКОСТНОГО РАЗРЯДА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ НАНОСТРУКТУРИРОВАННОГО ПОКРЫТИЯ PVD МЕТОДОМ KW сталь 9ХФ KW металлографический анализ KW ВЧЕ плазменная обработка KW steel 9CrV KW metallographic analysis KW high-frequency plasma processing JO ВЕСТНИК ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО УНИВЕРСИТЕТА AU Абдуллин, И.Ш. AU Васильев, И.И. PY 2025 IS 15 PB Казанский национальный исследовательский технологический университет