%0 Journal Article
%T ИНФОРМАЦИОННЫЙ CALS-ПРОЕКТ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО СИНТЕЗА НАНОПОРОШКОВ ОСОБОЙ ЧИСТОТЫ
%A Бессарабов, А.М.
%A Иванов, М.Я.
%A Вендило, А.Г.
%A Степанова, Т.И.
%A Стоянов, О.В.
%K CALS-система, нанотехнология, плазмохимия, особо чистые материалы, CALS-system, nanotechnology, plasma chemistry, high purity materials
%J ВЕСТНИК ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО УНИВЕРСИТЕТА
%D 2025
%N 15
%P 3
%I Казанский национальный исследовательский технологический университет