TY JOUR TI ИНФОРМАЦИОННЫЙ CALS-ПРОЕКТ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО СИНТЕЗА НАНОПОРОШКОВ ОСОБОЙ ЧИСТОТЫ KW CALS-система KW нанотехнология KW плазмохимия KW особо чистые материалы KW CALS-system KW nanotechnology KW plasma chemistry KW high purity materials JO ВЕСТНИК ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО УНИВЕРСИТЕТА AU Бессарабов, А.М. AU Иванов, М.Я. AU Вендило, А.Г. AU Степанова, Т.И. AU Стоянов, О.В. PY 2025 IS 15 PB Казанский национальный исследовательский технологический университет