%0 Journal Article
%T СИНТЕЗ НАНОКРИСТАЛИЧЕСКИХ АЛМАЗНЫХ МЕМБРАН МЕТОДОМ ХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ В СВЧ ПЛАЗМЕ
%A Седов, В.С.
%A Ральченко, В.Г.
%A Комленок, М.С.
%A Хомич, А.А.
%A Власов, И.И.
%A Конов, В.И.
%K СВЧ плазма, нанокристаллический алмаз, мембраны, nanocrystalline diamond, membranes
%J ВЕСТНИК ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО УНИВЕРСИТЕТА
%D 2025
%N 15
%P 1
%I Казанский национальный исследовательский технологический университет