TY JOUR TI СИНТЕЗ НАНОКРИСТАЛИЧЕСКИХ АЛМАЗНЫХ МЕМБРАН МЕТОДОМ ХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ В СВЧ ПЛАЗМЕ KW СВЧ плазма KW нанокристаллический алмаз KW мембраны KW nanocrystalline diamond KW membranes JO ВЕСТНИК ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО УНИВЕРСИТЕТА AU Седов, В.С. AU Ральченко, В.Г. AU Комленок, М.С. AU Хомич, А.А. AU Власов, И.И. AU Конов, В.И. PY 2025 IS 15 PB Казанский национальный исследовательский технологический университет