@article{Балакирев2025модель,
author={Балакирев, Н.А. and Жихарев, В.А.},
title={МОДЕЛЬ РОСТА КЛАСТЕРОВ СЛОЖНЫХ СИЛИЦИДОВ ПРИ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ},
journal={ВЕСТНИК ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО УНИВЕРСИТЕТА},
publisher={Казанский национальный исследовательский технологический университет},
year={2025},
pages={21-24},
volume={16},
issue={2},
}