%0 Journal Article
%T МОДЕЛЬ РОСТА КЛАСТЕРОВ СЛОЖНЫХ СИЛИЦИДОВ ПРИ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ
%A Балакирев, Н.А.
%A Жихарев, В.А.
%K Агрегация, ограниченная диффузией, фрактальная размерность, дендриты, диполь-дипольное взаимодействие, ионная имплантация, Diffusion limited aggregation, fractal dimension, dendrites, dipole-dipole interaction, ion implantation
%J ВЕСТНИК ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО УНИВЕРСИТЕТА
%D 2025
%N 16
%P 3
%I Казанский национальный исследовательский технологический университет