TY  JOUR
TI  МОДЕЛЬ РОСТА КЛАСТЕРОВ СЛОЖНЫХ СИЛИЦИДОВ ПРИ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ
KW  Агрегация
KW  ограниченная диффузией
KW  фрактальная размерность
KW  дендриты
KW  диполь-дипольное взаимодействие
KW  ионная имплантация
KW  Diffusion limited aggregation
KW  fractal dimension
KW  dendrites
KW  dipole-dipole interaction
KW  ion implantation
JO  ВЕСТНИК ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО УНИВЕРСИТЕТА
AU  Балакирев, Н.А.
AU  Жихарев, В.А.
PY  2025
IS  16
PB  Казанский национальный исследовательский технологический университет