TY JOUR TI ПОЛУЧЕНИЕ ВЫСОКОДИСПЕРСНЫХ ПОРОШКОВ ОКИСИ КРЕМНИЯ ПЛАЗМЕННЫМ МЕТОДОМ KW наноразмерные частицы KW высокочастотный индукционный разряд KW a high frequency inductive discharge KW nano-sized particles JO ВЕСТНИК ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО УНИВЕРСИТЕТА AU Абдуллин, И.Ш. AU Гайнуллин, Р.Н. AU Герке, А.Р. AU Кирпичников, А.П. AU Лира, А.В. AU Гафаров, И.Г. PY 2025 IS 16 PB Казанский национальный исследовательский технологический университет