TY JOUR TI ПЛАЗМЕННАЯ ТЕХНОЛОГИЯ ПОЛУЧЕНИЯ «ХОЛОДНОГО» ЗЕРКАЛА ДЛЯ ЭНДОХИРУРГИЧЕСКОГО ОБОРУДОВАНИЯ KW магнетронная распылительная система KW «холодное» зеркало KW эндоскопия KW magnetron sputtering system KW "cold" mirrors KW endoscopy JO ВЕСТНИК ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО УНИВЕРСИТЕТА AU Галяутдинов, Р.Т. AU Уразбахтин, И.Р. PY 2025 IS 16 PB Казанский национальный исследовательский технологический университет