TY JOUR TI ФОРМИРОВАНИЕ НАНОДИФФУЗИОННЫХ АЛМАЗОПОДОБНЫХ ПОКРЫТИЙ НА ПОВЕРХНОСТИ ТВЕРДЫХ СПЛАВОВ С ПОМОЩЬЮ ВЧ-ПЛАЗМЫ ПОНИЖЕННОГО ДАВЛЕНИЯ KW струя KW ВЧ плазма KW температура KW пониженное давление KW RF plasma KW stream KW temperature KW low pressure JO ВЕСТНИК ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО УНИВЕРСИТЕТА AU Хубатхузин, А.А. AU Абдуллин, И.Ш. AU Башкирцев, А.А. AU Гатина, Э.Б. PY 2025 IS 16 PB Казанский национальный исследовательский технологический университет