TY JOUR TI ВЧ-ПЛАЗМЕННАЯ НАНОПОЛИРОВКА И ФИНИШНАЯ ОЧИСТКА ПОВЕРХНОСТИ МЕТАЛЛОВ И ИХ СПЛАВОВ KW струя KW ВЧ плазма KW температура KW пониженное давление KW RF plasma KW stream KW temperature KW low pressure JO ВЕСТНИК ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО УНИВЕРСИТЕТА AU Хубатхузин, А.А. AU Абдуллин, И.Ш. AU Калашников, Д.И. PY 2025 IS 16 PB Казанский национальный исследовательский технологический университет