%0 Journal Article
%T ИССЛЕДОВАНИЕ ИОННО-ПЛАЗМЕННЫХ КОНДЕНСАТОВ НА НАЧАЛЬНЫХ СТАДИЯХ РОСТА
%A Абдуллин, И.Ш.
%A Васильев, И.И.
%A Трофимов, А.В.
%K очистка поверхности, ВЧЕ плазменная обработка, surface cleaning, high-frequency plasma processing
%J ВЕСТНИК ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО УНИВЕРСИТЕТА
%D 2025
%N 16
%P 1
%I Казанский национальный исследовательский технологический университет