TY  JOUR
TI  ИССЛЕДОВАНИЕ ИОННО-ПЛАЗМЕННЫХ КОНДЕНСАТОВ НА НАЧАЛЬНЫХ СТАДИЯХ РОСТА
KW  очистка поверхности
KW  ВЧЕ плазменная обработка
KW  surface cleaning
KW  high-frequency plasma processing
JO  ВЕСТНИК ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО УНИВЕРСИТЕТА
AU  Абдуллин, И.Ш.
AU  Васильев, И.И.
AU  Трофимов, А.В.
PY  2025
IS  16
PB  Казанский национальный исследовательский технологический университет