TY JOUR TI СОЗДАНИЕ ТИПОРАЗМЕРНОГО РЯДА БЕЗМАСЛЯНЫХ СПИРАЛЬНЫХ ВАКУУМНЫХ НАСОСОВ KW вакуумный насос KW безмасляный вакуум KW насос «сухого» сжатия KW откачные характеристики KW vacuum pump KW oil-free vacuum KW average vacuum KW pump "dry" compression KW the pumping characteristics JO ВЕСТНИК ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО УНИВЕРСИТЕТА AU Бурмистров, А.В. AU Капустин, Е.Н. AU Зиганшин, Р.Р. PY 2025 IS 16 PB Казанский национальный исследовательский технологический университет