%0 Journal Article
%T ИССЛЕДОВАНИЕ ФОРМИРОВАНИЯ НИТРИДНОГО ПОКРЫТИЯ ИЗ ПЛАЗМЫ ДУГОВОГО РАЗРЯДА АТОМНО-СИЛОВОЙ МИКРОСКОПИЕЙ
%A Абдуллин, И.Ш.
%A Миронов, М.М.
%A Васильев, И.И.
%K конденсация методом КИБ, TiN, АСМ, condensation by PVD, TiN, AFM
%J ВЕСТНИК ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО УНИВЕРСИТЕТА
%D 2025
%N 16
%P 1
%I Казанский национальный исследовательский технологический университет