TY  JOUR
TI  ИССЛЕДОВАНИЕ ФОРМИРОВАНИЯ НИТРИДНОГО ПОКРЫТИЯ ИЗ ПЛАЗМЫ ДУГОВОГО РАЗРЯДА АТОМНО-СИЛОВОЙ МИКРОСКОПИЕЙ
KW  конденсация методом КИБ
KW  TiN
KW  АСМ
KW  condensation by PVD
KW  TiN
KW  AFM
JO  ВЕСТНИК ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО УНИВЕРСИТЕТА
AU  Абдуллин, И.Ш.
AU  Миронов, М.М.
AU  Васильев, И.И.
PY  2025
IS  16
PB  Казанский национальный исследовательский технологический университет