%0 Journal Article
%T МОДЕЛИРОВАНИЕ ГАЗОДИНАМИЧЕСКОГО ИСТЕЧЕНИЯ СТРУИ АРГОН-СИЛАНОВОЙ ПЛАЗМЫ В ЗАТОПЛЕННОЕ ПРОСТРАНСТВО
%A Абдуллин, И.Ш.
%A Желтухин, В.С.
%A Струнин, В.И.
%A Шемахин, А.Ю.
%A Худайбергенов, Г.Ж.
%A Хубатхузин, А.А.
%K аргон-силановая плазма, высокочастотный разряд, осаждение тонких пленок, аморфный кремний, струйное течение, математическое моделирование, silane argon plasma, RF glow discharge, thin films deposition, amorphous silicon, jet flow, mathematical modeling
%J ВЕСТНИК ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО УНИВЕРСИТЕТА
%D 2025
%N 16
%P 3
%I Казанский национальный исследовательский технологический университет