TY  JOUR
TI  МОДЕЛИРОВАНИЕ ГАЗОДИНАМИЧЕСКОГО ИСТЕЧЕНИЯ СТРУИ АРГОН-СИЛАНОВОЙ ПЛАЗМЫ В ЗАТОПЛЕННОЕ ПРОСТРАНСТВО
KW  аргон-силановая плазма
KW  высокочастотный разряд
KW  осаждение тонких пленок
KW  аморфный кремний
KW  струйное течение
KW  математическое моделирование
KW  silane argon plasma
KW  RF glow discharge
KW  thin films deposition
KW  amorphous silicon
KW  jet flow
KW  mathematical modeling
JO  ВЕСТНИК ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО УНИВЕРСИТЕТА
AU  Абдуллин, И.Ш.
AU  Желтухин, В.С.
AU  Струнин, В.И.
AU  Шемахин, А.Ю.
AU  Худайбергенов, Г.Ж.
AU  Хубатхузин, А.А.
PY  2025
IS  16
PB  Казанский национальный исследовательский технологический университет