@article{Глинкин2025вакуумная,
author={Глинкин, В.А. and Бикташев, А.А.},
title={ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ СЕЛЕКТИВНЫХ ПОКРЫТИЙ},
journal={ВЕСТНИК ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО УНИВЕРСИТЕТА},
publisher={Казанский национальный исследовательский технологический университет},
year={2025},
pages={225-228},
volume={16},
issue={21},
}