TY JOUR TI ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ СЕЛЕКТИВНЫХ ПОКРЫТИЙ KW вакуумная установка KW нанесение покрытий KW селективные покрытия KW vacuum unit KW coating KW selective coatings JO ВЕСТНИК ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО УНИВЕРСИТЕТА AU Глинкин, В.А. AU Бикташев, А.А. PY 2025 IS 16 PB Казанский национальный исследовательский технологический университет