%0 Journal Article %T ОСНОВНОЕ УРАВНЕНИЕ ВАКУУМНОЙ ТЕХНИКИ %A Панфилович, К.Б. %K быстрота откачки, быстрота действия, проводимость, pumping speed, effective pumping speed, conductivity %J ВЕСТНИК ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО УНИВЕРСИТЕТА %D 2025 %N 16 %P 0 %I Казанский национальный исследовательский технологический университет