TY JOUR TI ОСНОВНОЕ УРАВНЕНИЕ ВАКУУМНОЙ ТЕХНИКИ KW быстрота откачки KW быстрота действия KW проводимость KW pumping speed KW effective pumping speed KW conductivity JO ВЕСТНИК ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО УНИВЕРСИТЕТА AU Панфилович, К.Б. PY 2025 IS 16 PB Казанский национальный исследовательский технологический университет