%0 Journal Article
%T ТЕМАТИЧЕСКАЯ МОДЕЛЬ ВЧЕ-РАЗРЯДА В АРГОНЕ ПРИ БОЛЬШИХ МЕЖЭЛЕКТРОДНЫХ РАССТОЯНИЯХ
%A Абдуллин, И.Ш.
%A Желтухин, В.С.
%A Чебакова, В.Ю.
%A Шнейдер, М.Н.
%K Математическое моделирование, высокочастотный разряд, электронная температура, концентрация электронов, концентрация ионов, концентрация метастабильных атомов, Mathematical modeling, radio-frequency discharges, electron temperature, electron density, positive ion density, metastable density
%J ВЕСТНИК ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО УНИВЕРСИТЕТА
%D 2025
%N 16
%P 4
%I Казанский национальный исследовательский технологический университет