TY JOUR TI ИССЛЕДОВАНИЕ ПЛАВАЮЩИХ ПОТЕНЦИАЛОВ Э ЛЕКТРОДОВ В ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИХ ПРОЦЕССАХ KW пленочное покрытие KW плавающий потенциал KW стагнация KW skin-deep layer KW electrical potential KW stagnation JO ВЕСТНИК ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО УНИВЕРСИТЕТА AU Зиятдинов, Р.Х. PY 2025 IS 17 PB Казанский национальный исследовательский технологический университет