TY JOUR TI ВОЗДУШНОЕ ОХЛАЖДЕНИЕ ИНДУКЦИОННОГО ВЧ-ПЛАЗМАТРОНА ПОНИЖЕННОГО ДАВЛЕНИЯ KW плазматрон KW тепловой расчет KW индукционный ВЧ разряд KW plasma generator KW thermal analysis KW inductively coupled RF discharge JO ВЕСТНИК ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО УНИВЕРСИТЕТА AU Желонкин, Я.О. AU Хубатхузин, А.А. AU Абдуллин, И.Ш. PY 2025 IS 17 PB Казанский национальный исследовательский технологический университет