TY  JOUR
TI  ВЗАИМОДЕЙСТВИЕ ПЛАЗМЫ С ПОВЕРХНОСТЬЮ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ИЗДЕЛИЙ
KW  ионно-плазменное покрытие
KW  модель Фольмера-Вебера
KW  ВЧЕ плазменная обработка
KW  ion-plasma coating
KW  model of Volmer-Weber
KW  high-frequency plasma processing
JO  ВЕСТНИК ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО УНИВЕРСИТЕТА
AU  Васильев, И.И.
AU  Абдуллин, И.Ш.
AU  Миронов, М.М.
PY  2025
IS  17
PB  Казанский национальный исследовательский технологический университет