TY JOUR TI ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЙ СТЕНД БЕЗМАСЛЯНОЙ ОТКАЧКИ KW адсорбционный вакуумный насос KW стенд безмасляной откачки KW adsorption vacuum pump KW oil-free pumping unit JO ВЕСТНИК ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО УНИВЕРСИТЕТА AU Бурцев, С.А. AU Булаев, С.А. PY 2025 IS 17 PB Казанский национальный исследовательский технологический университет