%0 Journal Article %T АНАЛИЗ ФИЗИКО-МЕХАНИЧЕСКИХ СВОЙСТВ СПИРАЛЬНЫХ НАСОСОВ ПРИ ОБРАБОТКЕ МЕТОДАМИ АНОДИРОВАНИЯ, ЭПИЛАМИНИРОВАНИЯ, ВЧ ПЛАЗМОЙ ПОНИЖЕННОГО ДАВЛЕНИЯ %A Хубатхузин, А.А. %A Абдуллин, И.Ш. %A Христолюбова, В.И. %A Гумиров, А.А. %K ВЧ плазма, спиральный насос, пониженное давление, RF plasma, spiral pump, low pressure %J ВЕСТНИК ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО УНИВЕРСИТЕТА %D 2025 %N 17 %P 1 %I Казанский национальный исследовательский технологический университет