TY JOUR TI АНАЛИЗ ФИЗИКО-МЕХАНИЧЕСКИХ СВОЙСТВ СПИРАЛЬНЫХ НАСОСОВ ПРИ ОБРАБОТКЕ МЕТОДАМИ АНОДИРОВАНИЯ, ЭПИЛАМИНИРОВАНИЯ, ВЧ ПЛАЗМОЙ ПОНИЖЕННОГО ДАВЛЕНИЯ KW ВЧ плазма KW спиральный насос KW пониженное давление KW RF plasma KW spiral pump KW low pressure JO ВЕСТНИК ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО УНИВЕРСИТЕТА AU Хубатхузин, А.А. AU Абдуллин, И.Ш. AU Христолюбова, В.И. AU Гумиров, А.А. PY 2025 IS 17 PB Казанский национальный исследовательский технологический университет