%0 Journal Article
%T ПАРАМЕТРИЧЕСКИЙ АНАЛИЗ ВЫСОКОЧАСТОТНОГО РАЗРЯДА НИЗКОГО ДАВЛЕНИЯ
%A Пискунков, А.Ф.
%A Рябый, В.А.
%A Кирпичников, А.П.
%A Кравченко, И.В.
%K высокочастотный разряд низкого давления, плазма, физико-математическая модель, Low frequency RF discharge, plasma, physico-mathematical model
%J ВЕСТНИК ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО УНИВЕРСИТЕТА
%D 2025
%N 17
%P 4
%I Казанский национальный исследовательский технологический университет