TY  JOUR
TI  ПАРАМЕТРИЧЕСКИЙ АНАЛИЗ ВЫСОКОЧАСТОТНОГО РАЗРЯДА НИЗКОГО ДАВЛЕНИЯ
KW  высокочастотный разряд низкого давления
KW  плазма
KW  физико-математическая модель
KW  Low frequency RF discharge
KW  plasma
KW  physico-mathematical model
JO  ВЕСТНИК ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО УНИВЕРСИТЕТА
AU  Пискунков, А.Ф.
AU  Рябый, В.А.
AU  Кирпичников, А.П.
AU  Кравченко, И.В.
PY  2025
IS  17
PB  Казанский национальный исследовательский технологический университет