%0 Journal Article
%T СТЕНД ДЛЯ ИССЛЕДОВАНИЯ МАСС-СПЕКТРА ОСТАТОЧНОГО ГАЗА БЕЗМАСЛЯНЫХ ВАКУУМНЫХ НАСОСОВ И АГРЕГАТОВ
%A Гаврилов, А.В.
%A Саликеев, С.И.
%A Бурмистров, А.В.
%A Гимадиев, И.Ш.
%A Свидетелев, А.Н.
%K масс-спектрометр, безмасляный вакуум, остаточный газ, вакуумный насос, экспериментальные исследования, состав газа, вакуумная система, спиральный насос, mass-spectrometer, oil-free vacuum, tail gas, a vacuum pump, the experimental studies, the composition of the gas, the vacuum system, scroll pump
%J ВЕСТНИК ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО УНИВЕРСИТЕТА
%D 2025
%N 17
%P 2
%I Казанский национальный исследовательский технологический университет