TY  JOUR
TI  СТЕНД ДЛЯ ИССЛЕДОВАНИЯ МАСС-СПЕКТРА ОСТАТОЧНОГО ГАЗА БЕЗМАСЛЯНЫХ ВАКУУМНЫХ НАСОСОВ И АГРЕГАТОВ
KW  масс-спектрометр
KW  безмасляный вакуум
KW  остаточный газ
KW  вакуумный насос
KW  экспериментальные исследования
KW  состав газа
KW  вакуумная система
KW  спиральный насос
KW  mass-spectrometer
KW  oil-free vacuum
KW  tail gas
KW  a vacuum pump
KW  the experimental studies
KW  the composition of the gas
KW  the vacuum system
KW  scroll pump
JO  ВЕСТНИК ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО УНИВЕРСИТЕТА
AU  Гаврилов, А.В.
AU  Саликеев, С.И.
AU  Бурмистров, А.В.
AU  Гимадиев, И.Ш.
AU  Свидетелев, А.Н.
PY  2025
IS  17
PB  Казанский национальный исследовательский технологический университет