LDR 00980naa#a2200217#i#450# 001 RU\\bibl\59904 005 20250806024413.3 011 ## _a3034-4689 100 ## _a20250801b2025####ek#y0rusy0150####ca 101 0# _aRUS 102 ## _aRU 200 1# _aПЛАЗМОДИНАМИЧЕСКИЙ СИНТЕЗ НАНОДИСПЕРСНОГО КАРБИДА КРЕМНИЯ И ВЛИЯНИЕ УРОВНЯ ЭНЕРГИИ НА ХАРАКТЕРИСТИКИ ПРОДУКТА СИНТЕЗА _eЖурнальная статья 210 1# _aКазань _cКазанский национальный исследовательский технологический университет _d2025 215 ## _a2 с. 608 ## _aЖурнальная статья _2local 675 ## _aДругие соединения кремния. 661.689 _zRUS 700 #1 _aНикитин _gД С 700 #1 _aСивков _gА А 700 #1 _aПак _gА Я 700 #1 _aРахматуллин _gИ А 856 4# _avestniktu.ru _u