00980naa#a2200217#i#450# RU\\bibl\59904 20250806201301.3 3034-4689 20250801b2025####ek#y0rusy0150####ca RUS RU ПЛАЗМОДИНАМИЧЕСКИЙ СИНТЕЗ НАНОДИСПЕРСНОГО КАРБИДА КРЕМНИЯ И ВЛИЯНИЕ УРОВНЯ ЭНЕРГИИ НА ХАРАКТЕРИСТИКИ ПРОДУКТА СИНТЕЗА Журнальная статья Казань Казанский национальный исследовательский технологический университет 2025 2 с. Журнальная статья local Другие соединения кремния. 661.689 RUS Никитин Д С Сивков А А Пак А Я Рахматуллин И А vestniktu.ru