00780naa#a2200193#i#4500001001500000005001700015011001400032100004100046101000800087102000700095200015900102210015700261215001000418608004500428675004000473700003000513700002600543856001700569RU\\bibl\6004320250817220547.7##a3034-4689##a20250801b2025####ek#y0rusy0150####ca0#aRUS##aRU1#aМОДЕЛЬ РОСТА КЛАСТЕРОВ СЛОЖНЫХ СИЛИЦИДОВ ПРИ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИeЖурнальная статья1#aКазаньcКазанский национальный исследовательский технологический университетd2025##a3 с.##aЖурнальная статья2local##a. 537.9; 537.611.44; 519.876.5zRUS#1aБалакиревgН А#1aЖихаревgВ А4#avestniktu.ru