00780naa#a2200193#i#450# RU\\bibl\60043 20250824144900.7 3034-4689 20250801b2025####ek#y0rusy0150####ca RUS RU МОДЕЛЬ РОСТА КЛАСТЕРОВ СЛОЖНЫХ СИЛИЦИДОВ ПРИ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ Журнальная статья Казань Казанский национальный исследовательский технологический университет 2025 3 с. Журнальная статья local . 537.9; 537.611.44; 519.876.5 RUS Балакирев Н А Жихарев В А vestniktu.ru