00791naa#a2200193#i#4500001001500000005001700015011001400032100004100046101000800087102000700095200014300102210015700245215001000402608004500412675006900457700002600526700002800552856001700580RU\\bibl\6193820250826122720.2##a3034-4689##a20250801b2025####ek#y0rusy0150####ca0#aRUS##aRU1#aВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ СЕЛЕКТИВНЫХ ПОКРЫТИЙeЖурнальная статья1#aКазаньcКазанский национальный исследовательский технологический университетd2025##a3 с.##aЖурнальная статья2local##aпутем испарения в вакууме. 621.793.14zRUS#1aГлинкинgВ А#1aБикташевgА А4#avestniktu.ru