00791naa#a2200193#i#450# RU\\bibl\61938 20250826103826.2 3034-4689 20250801b2025####ek#y0rusy0150####ca RUS RU ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ СЕЛЕКТИВНЫХ ПОКРЫТИЙ Журнальная статья Казань Казанский национальный исследовательский технологический университет 2025 3 с. Журнальная статья local путем испарения в вакууме. 621.793.14 RUS Глинкин В А Бикташев А А vestniktu.ru