00766naa#a2200181#i#4500001001500000005001700015011001400032100004100046101000800087102000700095200010900102210015700211215001000368608004500378675011200423700003200535856001700567RU\\bibl\6194520250819201741.2##a3034-4689##a20250801b2025####ek#y0rusy0150####ca0#aRUS##aRU1#aОСНОВНОЕ УРАВНЕНИЕ ВАКУУМНОЙ ТЕХНИКИeЖурнальная статья1#aКазаньcКазанский национальный исследовательский технологический университетd2025##a0 с.##aЖурнальная статья2local##aРазреженные газы. Физика вакуума. Вакуумная техника. 533.5zRUS#1aПанфиловичgК Б4#avestniktu.ru