00766naa#a2200181#i#450# RU\\bibl\61945 20250819175717.2 3034-4689 20250801b2025####ek#y0rusy0150####ca RUS RU ОСНОВНОЕ УРАВНЕНИЕ ВАКУУМНОЙ ТЕХНИКИ Журнальная статья Казань Казанский национальный исследовательский технологический университет 2025 0 с. Журнальная статья local Разреженные газы. Физика вакуума. Вакуумная техника. 533.5 RUS Панфилович К Б vestniktu.ru