Приведены расчет режима вакуумной ионной очистки подложек определены эффективные плотности ионного тока и требуемая энергия частиц, и эмпирический расчет характеристик катодного распыления дисульфида молибдена. Предложены технологические устройства для осуществления процесса нанесения триботехнических покрытий.
покрытие, антифрикционность, технология, вакуум, очистка, распыление катодное, расчет, coating, antifriction, technology, vacuum, cleaning, cathode dispersion, calculation
1. Воронков Б.Д. Подшипники сухого трения. Машиностроение, Л., 1979. 224 с.
2. Чернавский С.А. Подшипники скольжения. Машгиз., Москва, 1963. 243 с.
3. Арзыматов Б.М. Российского научно-технического Вакуумного Общества (РВО) [интернет ресурс]. Режим доступа http://www.rvs.itsoft.ru/, свободный.
4. Ю.В. Панфилов, А.И. Беликов, Электровакуумная техника и технология, Том 2, 2003. C. 72-79.
5. М.А. Шарапков, А.И. Беликов. Открытый машиностроительный интернет ресурс http://www.i-Mash.ru/.
6. Г.Ф. Ивановский, В.И. Петров, Ионно-плазменная обработка материалов. Радио и связь, Москва, 1986. 232 с.
7. Е.С. Фролов, В.Е. Минайчев, А.Т. Александрова, Вакуумная техника: Справочник. Машиностроение, Москва, 1992. 480 с.