Избирательная обработка в плазме ВЧЕ разряда с фокусировкой ионного потока на вершинах микронеровностей позволяет использовать эффект нанополировки для активации поверхности перед осаждением покрытия. Исследовано осаждение ионно-плазменного покрытия на начальных стадиях роста. Показаны стадии формирования защитных покрытий на обработанном плазмой поверхности стали.
ионно-плазменное покрытие, модель Фольмера-Вебера, ВЧЕ плазменная обработка, ion-plasma coating, model of Volmer-Weber, high-frequency plasma processing
1. Панин В.Е. Наноструктурирование поверхностных слоев конструкционных материалов и нанесение наноструктурных покрытий: учебное пособие / В.Е. Панин, В.П. Сергеев, А.В. Панин; Томский политехнический университет. - Томск: Изд-во Томского политехнического университета, 2010. - 254 с.
2. Абдуллин И.Ш. Финишная подготовка поверхности нетеплостойких инструментальных сталей перед нанесением защитных покрытий/ И.Ш. Абдуллин, И.И. Васильев // Вестник Казанского технологического университета. - 2013,- №5, С 180-182
3. Абдуллин И.Ш. Модификация нанослоев в высокочастотной плазме пониженного давления / И.Ш. Абдуллин, В.С. Желтухин, И.Р. Сагбиев, М.Ф.Шаехов. - Казань: Изд-во Казан. технол. ун-та, 2007. - 356 с.
4. Абдуллин И.Ш., Желтухин В.С., Сагбиев И.Р., Шарафеев Р.Ф. Модификация поверхностного слоя вольфрамо-кобальтового сплава в высокочастотной плазме пониженного давления // Вестн. КГТУ им. А.Н.Туполева.- 2009, №1 - С. 72-74.
5. Сагбиев И.Р. Струйный высокочастотный разряд пониженного давления в процессах модификации поверхностных нанослоев конструкционных материалов. Автореферат д-р техн. наук: 01.02.05. - Казань: Изд-во Казан. технол. ун-та, 2009. - 32 с.
6. Желтухин В.С., Морозов С.В., Сагбиев И.Р., Сунгатуллин А.М. Математическая модель взаимодействия ВЧ плазмы пониженного давления с шероховатой поверхностью // XXXIV Международная (Звенигородская) конференция по физике плазмы и УТС. Сборник докладов. -Звенигород, 2007. - С.284.
