В статье описывается конструкция и особенности эксплуатации стенда безмасляной откачки, состоящего из адсорбционного вакуумного насоса и мембранного вакуумного насоса.
адсорбционный вакуумный насос, стенд безмасляной откачки, adsorption vacuum pump, oil-free pumping unit
1. Бурмистров, А.В. Некоторые аспекты выбора безмасляных насосов среднего вакуума / А.В. Бурмистров, С.И. Саликеев, А.А. Райков // Вестник Казанского технологического университета. - 2013, Т.16. - № 10. - C.220-223.
2. Гаврилов, А.В. Лабораторный стенд для исследования эжекторов, предвключенных к водокольцевому насосу / А.В. Гаврилов, С.А. Бурцев // Вестник Казанского технологического университета. - 2014, Т.17. - № 4. - C.223-224.
3. Вакуумная техника: справочник / под редакцией К.Е. Демихова, Ю.В. Панфилова. - 3- изд., перераб. и доп. - М.: Машиностроение, 2009. -590 с.
4. Ануфриева И.В. Исследование и разработка комплекса безмасляных средств форвакуумной откачки для оборудования высоких вакуумных технологий электронной техники: дисс.. канд. тех. наук / ФГУП «НИИВТ им. С.А. Векшинского», И.В. Ануфриева. - М., 2004. -166с.
5. Кельцев Н.В. Основы адсорбционной техники / Н. В. Кельцев. - М. : Химия, 1976. - 512c
