В работе построена одномерная математическая модель нестационарного высокочастотного емкостного разряда пониженного давления при больших межэлектродных расстояниях. Показано, что определяющую роль в формирование разряда играют процессы, происходящие в приэлектродных слоях, а так же процессы возбуждения и девозбуждения метастабильных атомов в объеме разряда.
Математическое моделирование, высокочастотный разряд, электронная температура, концентрация электронов, концентрация ионов, концентрация метастабильных атомов, Mathematical modeling, radio-frequency discharges, electron temperature, electron density, positive ion density, metastable density
1. Р. Оулет. М. ,Барбье, П. Черемисинофф и др. Технологическое применение низкотемпературной плазмы. М: Энергоатомиздат, 1983.- 144с
2. В.В. Кудинов,Н.В. Корнеева // Матер. Международ. конф. «Физ. Высокочастот. разрядов» и Международ. школы молодых ученых и специалистов «Высокочастот. разряд: теория и техн.».- Казань, октябрь 2011 г. / Казан. нац. исслед. технол. ун-т, 2011. - С. 35-35.
3. И.Ш.Абдуллин, В.С. Желтухин, Н.Ф. Кашапов. Высокочастотная плазменно-струйная обработка материалов при пониженных давлениях. Теория и практика применения.- Казань: Изд-во Казан. ун-та, 2000.- 348 с.
4. Ю.П. Райзер, М.Н. Шнейдер, Н.А. Яценко. Высокочастотный емкостный разряд: Физика. Техника эксперимента. Приложения. - М.: Изд-во МФТИ, 1995.- 320 с.
5. В.А. Лисовский, Н.Д. Харченко // Вест. Харьк. нац. ун-та. Сер. физ.: ядра, частицы, поля.- 2010. - № 887, вып. 1 (45), С. 81-87.
6. А.Н. Ткачев, А.А Феденев, С.И. Яковленко // Ж. техн. физ.- 2007. - Т. 77, № 6. - С. 22-27.
7. Р. Dimitris Lymberopoulos, Demetre J.Economou // J. Appl. Phys.- 1993.- Vol. 73, № 8, P. 3668-3679.
8. Б.Т. Байсова, В.И. Струнин, Н.Н Струнина, Г.Ж.Худайбергенов // Ж. техн. физ.- 2003.- Т. 73, № 8.- С. 30-33
9. Н.А. Дятко, Ю.З. Ионих, А.В. Мещанов, А.П. Напартович // Физ. плазмы.- 2005._- Т. 31, № 10.- С. 939-953.
10. Б.М. Смирнов. Возбужденные атомы.- М.: Энергоиздат, 1982.- 232 с.
11. М. Митчнер, Ч. Кругер. Частично-ионизованные газы. М.: Мир, 1976.- 496с.
12. Ю.П.Райзер. Физика газового разряда.- М.: Наука, 1987.- 592 c
13. Ю.П. Райзер , М.Н. Шнейдер // Теплофиз. высоких температур.- 1991.- Т. 29, № 6.- С. 1041-1052.
14. В.Г. Фастовский ,А.Е Ровинский , Ю.В. Петровский Инертные газы.- М.: Атомиздат, 1972.- 352 с.
15. А. А Самарский, П.Н. Вабищевич. Численные методы решения задач конвекции-диффузии.- М.: Эдиториал УРСС, 1999.- 248с.
