One-dimensional model of non-stationary low pressure RF discharge at large-scale inter-electrode distances is constructed. It is shown that processes occurring in the near-electrode layer plays a decisive role in a discharge formation as well as gas excitation and heating in bulk discharge.
Математическое моделирование, высокочастотный разряд, электронная температура, концентрация электронов, концентрация ионов, концентрация метастабильных атомов, Mathematical modeling, radio-frequency discharges, electron temperature, electron density, positive ion density, metastable density
1. R. Oulet. M. ,Barb'e, P. Cheremisinoff i dr. Tehnologicheskoe primenenie nizkotemperaturnoy plazmy. M: Energoatomizdat, 1983.- 144s
2. V.V. Kudinov,N.V. Korneeva // Mater. Mezhdunarod. konf. «Fiz. Vysokochastot. razryadov» i Mezhdunarod. shkoly molodyh uchenyh i specialistov «Vysokochastot. razryad: teoriya i tehn.».- Kazan', oktyabr' 2011 g. / Kazan. nac. issled. tehnol. un-t, 2011. - S. 35-35.
3. I.Sh.Abdullin, V.S. Zheltuhin, N.F. Kashapov. Vysokochastotnaya plazmenno-struynaya obrabotka materialov pri ponizhennyh davleniyah. Teoriya i praktika primeneniya.- Kazan': Izd-vo Kazan. un-ta, 2000.- 348 s.
4. Yu.P. Rayzer, M.N. Shneyder, N.A. Yacenko. Vysokochastotnyy emkostnyy razryad: Fizika. Tehnika eksperimenta. Prilozheniya. - M.: Izd-vo MFTI, 1995.- 320 s.
5. V.A. Lisovskiy, N.D. Harchenko // Vest. Har'k. nac. un-ta. Ser. fiz.: yadra, chasticy, polya.- 2010. - № 887, vyp. 1 (45), S. 81-87.
6. A.N. Tkachev, A.A Fedenev, S.I. Yakovlenko // Zh. tehn. fiz.- 2007. - T. 77, № 6. - S. 22-27.
7. R. Dimitris Lymberopoulos, Demetre J.Economou // J. Appl. Phys.- 1993.- Vol. 73, № 8, P. 3668-3679.
8. B.T. Baysova, V.I. Strunin, N.N Strunina, G.Zh.Hudaybergenov // Zh. tehn. fiz.- 2003.- T. 73, № 8.- S. 30-33
9. N.A. Dyatko, Yu.Z. Ionih, A.V. Meschanov, A.P. Napartovich // Fiz. plazmy.- 2005._- T. 31, № 10.- S. 939-953.
10. B.M. Smirnov. Vozbuzhdennye atomy.- M.: Energoizdat, 1982.- 232 s.
11. M. Mitchner, Ch. Kruger. Chastichno-ionizovannye gazy. M.: Mir, 1976.- 496s.
12. Yu.P.Rayzer. Fizika gazovogo razryada.- M.: Nauka, 1987.- 592 c
13. Yu.P. Rayzer , M.N. Shneyder // Teplofiz. vysokih temperatur.- 1991.- T. 29, № 6.- S. 1041-1052.
14. V.G. Fastovskiy ,A.E Rovinskiy , Yu.V. Petrovskiy Inertnye gazy.- M.: Atomizdat, 1972.- 352 s.
15. A. A Samarskiy, P.N. Vabischevich. Chislennye metody resheniya zadach konvekcii-diffuzii.- M.: Editorial URSS, 1999.- 248s.
